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一片表面平滑、沒有任何雜質的玻璃是制造TFT-LCD玻璃基板最主要的原料。在制作之前先將玻璃清洗干凈，然后脫水甩干。
之后將玻璃放在真空室內，讓金屬上面的特殊氣體產生等離子后，金屬上的原子就會撞向玻璃，然后形成一層層的金屬薄膜。
鍍完金屬薄膜后，還要在上面鍍上一層不導電層與半導體層。在真空室內先將玻璃板加溫，然后由連接直流高壓的噴灑器噴灑特殊氣體，讓電子與氣體產生等離子，經過化學反應后，玻璃上就形成了不導電層與半導體層。
薄膜形成后，要在玻璃上制作電晶體的圖案。首先，要進入黃光室噴上感光極強的光阻液，然后套上光罩照射藍紫光進行曝光，最后進入顯影區噴殺顯影液，這樣就可以去除照光后的光阻，并使未被曝光的顯影液定型。
光阻層定型后，可以用蝕刻進行濕式刻蝕將沒有用的薄膜露出；也可以用等離子的化學反應進行干式蝕刻。蝕刻后再將留下的光阻以洗液去除，最后就產生電晶體所需要的電路圖案了。
要形成可用的薄膜電晶體，需要重復清洗、鍍膜、上光阻、曝光、顯影、蝕刻、區光阻等過程，一般來說，要制造TFT-LCD需要重復5到7次。
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